热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻（RTD）组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。
1. 精度的概念：
在正常的使用条件下，仪表测量结果的准确程度叫仪表的准确度。 习惯上称为精度。
热式气体质量流量计的精度为：±1%读数 + ±0.5%满量程
2. 直管段的影响：
直管段不足时，对测量精度有影响，不同的流阻影响的大小不同，提供流阻信息和直管段长度，可计算出偏差大小。
3. 水、水汽
所测介质中含有水或水汽，如果在探头上结有水滴，将会造成测量值偏大。偏差大小是不可计算的。
4. 插入深度的影响 在标定时，传感器的探头在管道的中心线上，如果实际安装时偏离中心线，将会造成测量值有偏差。偏差大小是不可计算的。
5. 组份变化
当所测介质组份发生变化时，将会造成测量值有偏差。提供变化后的组份，可计算出偏差大小。
6. 解决措施
对介质中含有水或水汽的测量，建议采用在水平管道的下半圆斜向上45 度角开孔的安装方式。