热式气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式气体质量流量计有两个温度传感器被置于介质中时，其中一个传感器被加热到环境温度以上的的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。介质流速增加，介质带走的热量增多，两个温度传感器的温度差将随介质的流速变化而变化，根据温度差与介质流速的比例关系，可得出流体的流量Q。热式气体质量流量计目前绝大部分用于测量气体，只有少量热式气体质量流量计用于测量微小液体流量。
热式气体质量流量计的特点：
1、无可动部件，密封面减少，大大降低泄漏率，便于安装和日常维护;
2、测量范围宽，测量范围可达20:1(液体)或30:1(气体);
3、计量准确、精度高，法兰式可达0.2%(液体)或0.5%(气体);
4、灵敏度极高，能测量超小流量，其可测量低流速为0.08m/s，电磁流量计0.5m/s;
5、重复性好，一般为0.05~0.08%,具有可选小信号切除，非线性修正，滤波时间可选择;
6、压力损失小，小口径仅为标准孔板的1/2△P左右;DN100口径以上压力损失开始大幅度减少;
7、标定方便，除可采用标准装置检定外，还可采用干式标定方法，即采用砝码挂重法，单键操作即可完成标定;
8、可根据实际需要更换阻流件而改变流量范围，在线可拆装插入式结构可实现不停产，不断流维修或更换;
9、低功耗电池现场显示，能在线直读示值，显示屏可同时读取瞬时流量累积流量及百分比棒图，并可切换显示补偿温度及补偿压力示值;
10、抗干扰、抗杂质能力特强，多种输出形式，能远传各种参数，使用无需拌热。
11、测量气体无需温度压力补偿，可直接显示标况体积流量。